7月12日消息，株式会社村田制作所 (TOKYO: 6981)（以下简称“村田”）于近日发布面向工业设备的数字三轴MEMS加速度计“SCA3400系列”。该产品在长期使用下的传感器输出变化值（偏移寿命漂移，指传感器在使用期间输出数值发生偏移的现象）低于0.5mg，属于业内领先水平；该MEMS加速度计具备高度耐久性，有助于提升桥梁、建筑等结构物劣化监测设备的可靠性，预计将于2025年10月开始量产。

随着工业设备的数字化，自动检测结构物和机械设备等异常或损伤、实现预测性维护的需求不断增长。通过传感器进行变化检测是实现自动化的重要方式之一，尤其在对桥梁、建筑等进行结构健康监测时，需要进行长期监控，因此，能够准确捕捉结构物微小形变或变化的加速度传感器性能，会直接影响整个监测系统的可靠性。然而，传统能够检测细微倾斜的高精度加速度传感器，其偏移寿命漂移值较高，使用时间一长，基准位置偏移就会增大，导致难以准确监测结构物的劣化。

对此，村田通过自主研发的MEMS工艺与新型电路设计，开发出了既可检测微小倾斜、又将偏移寿命漂移值控制在0.5mg以下的三轴MEMS加速度计；借此，有助于提升结构健康监测等系统的长期高精度测量能力。该产品还具备出众的抗振动和抗温度变化能力，即使在恶劣环境下的工业设备中，也可实现长期稳定使用。今后，村田将继续致力于高精度加速度传感器的研发，满足多样化的市场需求。